Technisches Datenblatt
ortho-Phosphorsäure
Molare Masse (M) 98,00 g/mol
Dichte (D) 1,71 g/cm³
Siedepunkt (Sdp) 158 °C
Schmelzpunkt (F) 21 °C
ADR 8 III
WGK 1
CAS Nr. 7664-38-2
EG-Nr. 231-633-2
UN-Nr. 1805
169,00 €/VE
zzgl. MwSt. | 2,5 l pro VE
Best.-Nr. 9788.1
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| Bestell Nr. | VE | Verp. | Preis | Menge | |
|---|---|---|---|---|---|
| 9788.1 | 2,5 l | Kunst. |
169,00 € |
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Allgemeine Informationen
Mit der VLSI (Very Large Scale Integration) Produktlinie bietet Carl ROTH Lösungsmittel und Säuren zur Reinigung und zum Ätzen von Wafern für die Halbleiter-Industrie. Beide Vorgänge sind essentiell bei der Chipherstellung. Bei Carl ROTH finden Sie dazu ausgewählte Produkte.
Eigenschaften:
- Hohe Reinheit
- Spurenmetallgehalt meist unter 100 ppb
- Partikelfiltriert, maximal 250 Partikel/ml
VLSI oder Very Large Scale Integration bedeutet, dass eine große Anzahl Transistoren (inzwischen mehrere 100 Mio.) auf einem Chip Platz finden. Da die Zwischenräume sehr klein sind, etwa 3 μm, müssen auch die Lösungsmittel und Säuren eine entsprechend hohe Reinheit haben und partikelfiltriert sein. Für VLSI ist die Anzahl der Partikel auf 250 p/ml begrenzt.
Für die Halbleiterindustrie bzw. Forschung und Entwicklung auf diesem Gebiet, gibt es unterschiedliche Reinheitsgrade:
VLSI
very large scale integration
Metallionenkonzentration je Fremdelement ca. 50-100 ppb, Partikelkonzentration <250/ml
ULSI
ultra large scale integration
Metallionenkonzentration je Fremdelement ca. 10-50 ppb, Partikelkonzentration <100/ml
SLSI
super large scale integration
Metallionenkonzentration je Fremdelement ca. 1-10 ppb, Partikelkonzentration <30-100/ml
Analysenzertifikate
Garantieanalyse
| Gehalt | 85-87 % |
| Partikelmenge (≥0,5 µm) | ≤250 p/ml |
| Farbe (APHA) | ≤10 |
| Chlorid (Cl) | ≤0,0001 % |
| Fluorid (F) | ≤0,0005 % |
| Nitrat (NO3) | ≤0,0001 % |
| Sulfat (SO4) | ≤0,0005 % |
| Unlösliche Anteile | ≤0,001 % |
| KMnO4 reduzierende Anteile | entspricht |
| Aluminium (Al) | ≤200 ppb |
| Antimon (Sb) | ≤2000 ppb |
| Arsen (As) | ≤200 ppb |
| Blei (Pb) | ≤100 ppb |
| Cadmium (Cd) | ≤200 ppb |
| Calcium (Ca) | ≤300 ppb |
| Chrom (Cr) | ≤100 ppb |
| Eisen (Fe) | ≤1000 ppb |
| Kalium (K) | ≤200 ppb |
| Cobalt (Co) | ≤300 ppb |
| Kupfer (Cu) | ≤100 ppb |
| Lithium (Li) | ≤50 ppb |
| Magnesium (Mg) | ≤100 ppb |
| Mangan (Mn) | ≤50 ppb |
| Natrium (Na) | ≤1000 ppb |
| Nickel (Ni) | ≤200 ppb |
| Strontium (Sr) | ≤200 ppb |
| Zink (Zn) | ≤1000 ppb |